የተንግስተን ፊላንት ቅኝት ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕ ፣ ኢኮ. SEM, 15x ~ 250000x
የምርት ማብራሪያ
A63.7062 የቱንስተን መሸፈኛ የኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕን መቃኘት, ኢኮ. ሴሜ | ||
ጥራት | 4.5nm@30KV (SE); 6nm @ 30KV (BSE) | |
ማጉላት | አሉታዊ ማጉላት: 15x ~ 250000x; የማያ ገጽ ማጉላት: 30x ~ 500000x | |
ኤሌክትሮን ሽጉጥ | የተንግስተን ሙቀት ያለው ካቶድ-ቅድመ ማእከል የተንግስተን መከላከያ ካርትሬጅ | |
ፍጥነትን ማፋጠን | 0 ~ 30 ኪ.ሜ. | |
የምስሪት ስርዓት | ባለሶስት-ደረጃ የኤሌክትሮማግኔቲክ ሌንስ (የታሸገ ሌንስ) | |
ዓላማ ቀዳዳ | የሞሊብዲነም ቀዳዳ ከውጭ የሚወጣው የቫኪዩም ሲስተም | |
የሙከራ ደረጃ | አምስት መጥረቢያ ደረጃ | |
የጉዞ ክልል | ኤክስ (ራስ-ሰር) | 0 ~ 50 ሚሜ |
ያ (ራስ-ሰር) | 0 ~ 50 ሚሜ | |
ዜድ (መመሪያ) | 0 ~ 25 ሚሜ | |
አር (መመሪያ) | 360o | |
ቲ (መመሪያ) | -5o ~ 90o | |
የማክስ ናሙና ዲያሜትር | 150 ሚሜ | |
መርማሪ | SE: ከፍተኛ የቫኪዩም ሁለተኛ ኤሌክትሮኒክ መመርመሪያ (ከመርማሪ ጥበቃ ጋር) | |
ማሻሻያ | የመድረክ ደረጃ ማሻሻል ፣ ኢ.ቢ.ኤል ፣ እስቲኤም ፣ ኤኤፍኤም | |
መለዋወጫዎች | ሲ.ሲ.ዲ. ፣ ላቢ 6 ፣ ኤክስ-ሬይ መመርመሪያ (ኢ.ዲ.ኤስ) ፣ ኢ.ቢ.ኤስ.ዲ. ፣ CL ፣ WDS ፣ ሽፋን ማሽን | |
የቫኩም ስርዓት | የቱርቦ ሞለኪውላዊ ፓምፖች ፣ የማዞሪያ ፓምፕ | |
የኤሌክትሮን ጨረር ወቅታዊ | 10 ፓአ ~ 0.1 |
መልእክትዎን እዚህ ይፃፉ እና ለእኛ ይላኩልን